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CMOS 影像感測器之UV固化製程

CMOS 影像感測器之UV固化製程

CMOS 影像感測器應用
當全球科技朝向人工智慧、物聯網等方向發展,CMOS影像感測器的應用也從數位相機、智慧型手機鏡頭等傳統相機市場,推展至影像辨識、生物辨識、3D成像等創新領域,應用至車用、安全、醫療等高附加價值的市場。

其中,又以車用市場最具發展潛力,當消費者對於行車的安全性要求越來越高,可以提升行車安全之產品如碰撞感測器、身分識別系統、倒車雷達、防瞌睡提醒器、夜間智慧視線輔助、死角監視系統等,皆為CMOS影像感測器可預期的市場商機;而自動駕駛與無人車的發展,可預期未來CMOS影像感測器於汽車產業的使用比重將會逐漸上升。


為了因應汽車行駛的嚴苛環境,如塵土、水氣,以及全世界不同的氣候,CMOS影像感測器的核心感光元件需要以玻璃進行封裝保護。在封裝的製程裡,具有優良耐候性與高接著強度,且不會黃變的UV膠水,為最合適的封裝膠材。然而,此種UV膠水在高能量要求的UV固化製程中,往往會因為無法承受傳統電極式UV光源散發之70℃以上的高溫而膨脹變質,導致CMOS影像感測器不良品的產生。

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傳統電極式U固化設備問題
傳統電極式UV固化設備在UV固化製程中,因為能量較低,需要減低線速度而導致產能降低。另外,電極式光源所產生的廢熱,即使經過水冷及氣冷的處理,溫度仍高達65℃至70℃,容易導致UV膠水膨脹變質。以諾達的客戶為例,在尚未淘汰傳統電極式設備時,生產的CMOS影像感測器的不良率約有5%。

諾達解決方案
諾達整合研發之SuperCool UV固化系統,以Nordson Cool-Wave II微波式UV固化設備,搭配氣冷式冷卻系統與符合氣體動力學的整體結構設計。SuperCool可在UVA能量輸出達到13.5J/cm2時,將溫度維持在55℃以下。解決客戶生產CMOS影像感測器時,因為溫度過高而產生不良的問題,可以有效將不良率從5%降低至1%。